海豚抛光简介

1、技术简介

我们主要是根据不同材料的物化特性，针对性开展研磨/抛光，实现其超精密低损伤表面加工。该技术主要应用于金属、陶瓷以及复合材料的平面件研磨/抛光加工（后期可面向曲面件）以及MEMS器件微结构的平坦化。

2、研磨/抛光平台

目前我们已经搭建起一套集“加工/测量”为一体的研磨/抛光平台，主要包括以下实验设备：1）3台研磨/抛光机，最大加工能力为150 mm直径；2）3台原子力显微镜；3）1台白光干涉仪；4）1台电化学工作站；5）1台μg精度超精密电子天平，以及其他配套设备。

3、加工材料和加工精度

目前我们主要面向金属、陶瓷以及复合材料的研磨/抛光，特别是金属材料，如铜/钢等，可以实现~1 nm的表面粗糙度R_a（100 μm×100 μm测量范围）。

4、加工试样要求

首先最为重要的是试样材料对技术人员无危险，包括无腐蚀性、无毒性、无致癌与生物危害、无易燃易爆、无挥发性、无放射性。

其次试样为薄片状，最好设计为以下5种标准尺寸：1）10mm长×10mm宽×1-2mm厚度，2）1英寸（~25mm）直径×1-2mm厚度，3）2英寸（~50mm）直径×1-2mm厚度，4）4英寸（~100mm）直径×1-2mm厚度，4）6英寸（~150mm）直径×1-2mm厚度。当然，如果不是以上尺寸，也可以做，但是需要重新加工夹具，整个加工时间会相应延长。

此外，我们可以提供“真空/低湿度/恒温”等特殊保存环境。

5、测试流程

对于一些不熟悉的材料，我们可以免费预先开展研磨/抛光实验。

测试完成后，我们会返回加工试样以及出具表面质量测量结果。